WONIK HOLDINGS B₂H₆ Mixture Gas B₂H₆ Mixture Gas 【B₂H₆（ジボラン）Mixture Gas用 恒温供給装置】 本装置は、B₂H₆ Mixture Gasを10℃以下で安定的に保管・供給することにより、 ガス分解由来の不純物（B₁₀H₁₄等）およびParticleの発生を最小化し、 半導体製造工程における濃度安定性・工程歩留まりの向上に貢献します。 また 冷媒を使用せずに熱電素子（ペルチェ素子）方式を採用しているため、 環境負荷を低減しつつ、高速な温度応答（常温→10℃以下：約2～4時間）、 省スペース設計（従来比 約40％縮小）、低消費電力を実現しています。 メーカーサイト： https://en.wonikholdings.kr/ 製品ラインナップ ●B₂H₆ Mixture Gas 恒温供給装置 ●Gas Supply System・BSGS, ISO Tank & Tube Trailer・Gas Cabinet, Bundle・VMB & VMP Precursor Supply System●Gas Purifier・Getter Type・Catalyst Type Circulation Purifier●POU Scrubber・Plasma Dual EP・Plasma Wet Heat Catalyst
