Imina Technologies SA
- メーカーサイト:
- https://www.imina.ch/
ナノプローブ
Imina TechnologiesのNANOソリューションは、マイクロエレクトロニクスデバイスの電気的特性評価、その場での半導体故障分析、 およびSEMおよびFIBチャンバー内の単一構造の操作のためのターンキーです。 Precisio™ソフトウェアスイートから完全に制御された 包括的なワークフローは、システムのセットアップから、テスト中のデバイスへのプローブチップの着陸、測定値の取得と処理、および レポート作成まで、オペレーターの支援を提供します。 最大8つのmiBot™ナノプローブをさまざまな構成とオプションで提供して、アプリケーション固有の要件と機器のセットアップに適合 させることができます。 ロボット用のコンパクトで軽量なプラットフォームは、あらゆる電子顕微鏡と互換性があり、SEMサンプル位置決めステージに取り付けるか、 SEMロードロックを介してロードすることができます。 磁気レンズを使用した高解像度イメージングとの互換性により、オペレーターは、市場で最も先進的な走査型電子顕微鏡を使用してナノプロー ビング実験を実行し、0.5kV未満の加速電圧でも最高解像度のイメージング機能を利用できます。 プラットフォーム全体とロボットを傾けることができるため、その場でのFIB回路編集とナノプロービングを同時に実行して、より高速で正確な 故障解析結果を得ることができます。 チャンバーを恒久的に改造する必要はなく、システムの取り付けと取り外しは数分で完了します。これにより、SEMをナノプロービング専用にする 必要がなくなります。また、プローブステーションや検査ツールなどの光学顕微鏡下でNANOソリューションの主要コンポーネントを簡単に操作する ためのさまざまな追加アクセサリが存在するため、投資の価値が高まります。
製品ラインナップ
NANO
マイクロプローブ
内部の狭い実験装置や限られた環境チャンバーでの設置面積を最小限に抑えるように特別に設計されたプラットフォームを備えた、非常に 小型のmiBot™（有名な使いやすく用途の広いピエゾ作動マイクロロボット）を最大限に活用してください。 システム全体には最大4つのマニピュレーターが搭載されており、プローブとセンサーをミリメートル単位で、10分の数ナノメートルまでの 解像度で個別に配置できます。 さまざまな形状と寸法で利用できるコンパクトなステージは、1つまたは最大4つのmiBotに対応します。マニピュレータと同様に、電子機能を 持たず、移動ロボットにモーションアリーナを提供する目的でのみ機能するため、寸法は最小限に抑えられます。 これらは、ネジとクランプを使用して、標準の光学ブレッドボードと顕微鏡ステージに簡単に取り付けることができるように設計されています。 したがって、新しい実験で使用する時もセットアップするにが非常にスピーディーに出来ます。 コンパクトパッケージは、低い光学作動距離での使用に最適です。また、位置決めステージ（例えば、ウェーハチャック、ペトリ皿）に よって動かされるサンプルホルダーに取り付けられた大きな基板に問題なくセット出来ます。
製品ラインナップ
MICRO