浜松ホトニクス株式会社
PHEMOS-X
IRコンフォーカルレーザ顕微鏡を標準装備した高解像度エミッション顕微鏡です。ソケットボードから300 mm両面ウェーハプローバまで多彩な用途にバランスよく対応します。また、高感度計測のためのNIRカメラや高解像度を実現するNonoLensにもオプションで対応しています。IR-OBIRCH法やLSIテスタとの接続やCADナビゲーション機能など多彩なオプションで、ユーザの計測要求に合わせ幅広く対応することができます。
- メーカーサイト:
- http://www.hamamatsu.com/jp/ja/index.html
- お問い合わせ:
- inform@toki-com.co.jp