浜松ホトニクス株式会社
PHEMOS-X
IRコンフォーカルレーザ顕微鏡を標準装備した高解像度エミッション顕微鏡です。ソケットボードから300 mm両面ウェーハプローバまで多彩な用途にバランスよく対応します。また、高感度計測のためのNIRカメラや高解像度を実現するNonoLensにもオプションで対応しています。IR-OBIRCH法やLSIテスタとの接続やCADナビゲーション機能など多彩なオプションで、ユーザの計測要求に合わせ幅広く対応することができます。
- メーカーサイト：
- http://www.hamamatsu.com/jp/ja/index.html
- お問い合わせ：
- inform@toki-com.co.jp
iPHEMOS-MPX
高精度エミッション顕微鏡『iPHEMOS-MPX』は、半導体デバイスの発光・発熱をもとに故障箇所を特定する高解像度の倒立型エミッション顕微鏡です。 裏面からの信号検出によりプロービングやブローブカードの使用が容易になり、迅速なサンプル解析が可能です。 300 mmウェハ対応ブローワ搭載で、チップ単体から基板まで幅広く対応可能。多様な解析装置と組み合わせた効率的な故障解析が行えます。
Dual PHEMOS-X
一台で両面からの故障解析が可能に。 Dual PHEMOS-Xは、半導体のウェーハやダイの状態で、 両面（表面及び裏面）からの故障解析が求められる先端3次元デバイスにおいて、 各種解析が可能な高解像度エミッション顕微鏡です。 両面からの解析が可能な、光学ステージ＆サンプルステージ(セミオートプローバ)を搭載しております。