東機通商株式会社

選択した波長は、独自の光学系レイアウトにより効率的に純度の選択した波長は、独自の光学系レイアウトにより効率的に純度の高いレーザーを出力し高精度なレーザー加工を実現しました。 　 そのため、レーザー発振部は従来方式の同種レーザー装置に比べ、下地や周辺への影響を大幅に低減し、従来と異なる材料にも高品位レーザー加工が可能です。 レーザー発振装置は､シングルショットから30Hz/60Hzまでの広い繰り返し範囲で､1パルスあたり100mJ以上のエネルギーを出力します｡ 高出力であるため、従来の4倍以上の加エ面積を実現でき､標準装備のXY+θスリットにより高精度なレーザー加工制御を行え、更に､オプションの菱形スリットにより自在なレーザー加工も行えます｡ 円形加工をご要望の際は、円形スリットにも対応します。 安全にも十分な配慮を行い､各所にインターロック機構が備わり､JlS-C-6802に準拠しております｡　 加工の用途してはIC保護膜(ポリミド、SiN等)、上層配線(Al等)だけを選択的に除去します。

メーカーサイト：

http://www.tns-systems.jp/

お問い合わせ：

inform@toki-com.co.jp

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